2025年6月29日至7月3日，第23届固态传感器、执行器与微系统国际会议（TRANSDUCERS 2025）在美国奥兰多举行。按照论文第一单位统计，北大集成电路学院问鼎TRANSDUCERS 2025全球论文榜首，共有39篇高水平学术论文入选，成为在本届会议上录用论文最多的单位。研究成果覆盖了面向生物传感、脑机接口、工业检测、消费电子等多个领域的惯性、压力、声学、压电MEMS、柔性微电极、可共型传感阵列、生物传感器等前沿器件和微系统。

在生物MEMS研究方面发表论文2篇，内容包括：1）一种基于可图案化可溶支撑层的变刚度植入式神经电极；2）面向抗运动干扰的脑电信号采集应用的可拉伸微针阵列电极研究。

在芯片热管理与AI辅助性能预测研究方面发表论文2篇，内容包括：1）面向大面积高功率计算芯片的两相冲击射流冷却技术；2）人工智能辅助可拉伸硅阵列力学性能预测方法。

在压电和声学MEMS研究方面发表论文10篇，内容包括：1）基于单片PMUT产生新型双声瓣的多场合大范围、高精度超声流量监测；2）基于压电微机械超声换能器的体内频率调制通信系统；3）基于双频PMUT的调幅准单极脉冲超声执行器；4）超声波电池充电状态监测和健康评估；5）针对血压监测和血管评估的多频PMUT阵列可穿戴光声传感系统；6）针对皮肤黑色素检测的小型化光声系统集成工艺；7）基于直流偏置的带宽可调PMUT阵列；8）基于宽频设计及负极化处理的的高耦合效率PMUT阵列；9）针对PZT薄膜的超薄多层结构集成的压电MEMS驱动器制造工艺；10）兼容高温微纳加工的PZT压电薄膜的热稳定性研究。

在MEMS声矢量传感器和电化学传感器研究方面发表论文10篇，内容包括：1）基于MCN热敏材料的声矢量传感器；2）热式矢量水听器的声学振速喇叭型低频增益封装；3）紧凑型三维声矢量传感器结构设计；4）三维声矢量传感器频率响应均衡与多通道噪声优化设计；5）基于MEMS的具有优化流阻和高可靠性敏感单元的电化学振动传感器；6）一种稳流封装方法的设计用于增强电化学速度型矢量水听器的抗干扰能力；7）基于GOS基片的高灵敏度高上截止频率电化学加速度计；8）具有快速响应、高抗过载能力的高灵敏度电化学振动传感器；9）基于锰钴镍氧（MCN）的微测辐射热计工艺开发；10）新型微测辐射热计桥腿热导设计。

在工艺质量监控和在线检测研究方面发表论文6篇，内容包括：1）一种用于压阻传感器高效灵敏度温度系数预测的新型高斯掺杂剖面模型；2）基于悬浮纳米光刻板的电子束光斑强度均匀性检测系统；3）一种在深反应离子刻蚀中提取和映射关键尺寸损失和侧壁角的在线检测方法；4）功耗低于10毫瓦的CMOS-MEMS单片集成悬臂梁式气体传感器；5）一种微梁压应变片上测试方法；6）一种用于电子束光刻工艺中光束光斑强度分布表征的新型片上测试方法。

在太赫兹和光学超表面传感等研究方面发表论文9篇，内容包括：1）基于双材料微悬臂梁焦平面阵列的太赫兹三维缺陷探测技术；2）基于双材料微悬臂梁焦平面阵列的太赫兹指纹谱传感技术；3）用于肾癌细胞高灵敏检测的偏振不敏感类EIT太赫兹超表面生物传感器；4）集成超薄微流道的可重复使用型高灵敏度太赫兹超表面传感器研究；5）面向特定生化物质识别的智能传感平台；6）基于横电模表面晶格共振的超灵敏膜厚检测；7）多单元太赫兹频率选择性指纹传感器：痕量物质的宽带识别；8）基于二级光栅结构的高灵敏反射型导模共振超表面比色传感器；9）新型金刚石纳米线场发射三极管及其在缓冲放大器和真空开关中的应用。

以上论文的相关研究工作得到了国家重点研发计划、国家高层次人才计划、国家自然科学基金、高等学校学科创新引智计划，国家集成电路产教融合创新平台、集成电路高精尖创新中心等项目和基地平台的支持。

集成电路学院学生汇报讲演工作

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